一种退火炉冷却装置的制作方法

本实用新型涉及退火炉设备技术领域，具体为一种退火炉冷却装置。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在现有退火炉的退火降温需要，一般采用静置冷却处理，需人工从退火炉将工件拿出放在静置架上，待冷却后再放入下道工序，如此工序繁琐，而且效率低下。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种退火炉冷却装置，解决了现有的静置冷却处理，需人工从退火炉将工件拿出放在静置架上，进行待冷却的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种退火炉冷却装置，包括箱体；

放置腔，所述放置腔开设于所述退货箱的内部；

u形空腔，所述u形空腔开设于所述退货箱的内部且位于所述放置腔的内部；

冷却箱，所述冷却箱开设于所述u形空腔的两侧且位于所述箱体的内部和所述放置腔的两侧；

两个散热扇，两个所述散热扇均固定安装于所述u形空腔内壁的顶部两侧且位于所述放置腔的顶部；

两个水箱，两个所述水箱均固定安装于所述箱体的两侧；

冷却装置，所述冷却装置固定安装于所述水箱的顶部，所述冷却装置包括抽水泵，所述抽水泵输出端连通有连接管，所述连接管的一端连通有二通管，所述二通管的一侧连通有输水管，所述输水管的一端贯穿所述冷却箱的顶部且延伸至所述冷却箱的内部，所述输水管的一端连通有四通管，所述四通管的两侧均连通有冷却管。

进一步地，所述抽水泵的一侧与所述水箱顶部的中间固定连接，所述抽水泵输入端连通有进水管，所述进水管的一端贯穿所述水箱的顶部且延伸至所述水箱的内部，两个所述冷却管的一端与所述冷却箱内部的两侧固定连接。

进一步地，所述冷却箱内壁底部的二通管的一端连通有出水管，所述出水管的一端贯穿所述冷却箱内壁的一侧且延伸至所述水箱的内部，所述冷却箱的顶部且位于所述输水管的两侧设置有第一散热网。

进一步地，所述放置腔内壁的底部两侧均开设有出气管，所述出气管的一端贯穿所述冷却箱的外侧且延伸至所述冷却箱的内部，所述出气管的一端固定安装有第一防尘网。

使用第一尘网和第二防尘网能够防止外界的灰尘和货物产生的灰尘流入冷却箱的内部和放置腔的内部。

进一步地，所述冷却箱的底部两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的一端与所述u形空腔两侧内壁的底部固定连接。

进一步地，所述放置腔的顶部固定安装有第二散热网，所述箱体的顶部且位于两个所述散热扇的两侧均设置有第二防尘网，两个所述水箱的顶部一侧均连通有注水管。

进一步地，所述放置腔的内部设置有货架，所述箱体的正面且位于所述放置腔的一侧开设有箱门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该退火炉冷却装置，通过使用两个散热扇能够将外界的气体带入箱体的内部能够对放置腔进行降温，能够替代原始的静置的方法，能够提高货物降温的速度，使用冷却装置能够方便对放置腔内部的散热后的热气进行降温，能够防止箱体内的温度升高导致放置腔的货物无法进行有降温，也会导致箱体内部的热气无法排除，使用第一尘网和第二防尘网能够防止外界的灰尘和货物产生的灰尘流入冷却箱的内部和放置腔的内部，能够防止货物的出厂率。

附图说明

图1为本实用新型退火炉整体结构示意图；

图2为本实用新型冷却装置结构示意图；

图3为本实用新型退火炉外部结构示意图。

图中：1-箱体、2-放置腔、3-u形空腔、4-冷却箱、5-支撑杆、6-水箱、7-冷却装置、71-抽水泵、72-进水管、73-连接管、74-二通管、75-输水管、76-四通管、77-冷却管、8-出气管、9-第一防尘网、10-第一散热网、11-散热扇、12-第二散热网、13-第二防尘网、14-出水管、15-货架、16-注水管、17-箱门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种退火炉冷却装置，包括箱体1；

放置腔2，所述放置腔2开设于所述退货箱1的内部；

u形空腔3，所述u形空腔3开设于所述退货箱1的内部且位于所述放置腔2的内部；

冷却箱4，所述冷却箱4开设于所述u形空腔3的两侧且位于所述箱体1的内部和所述放置腔2的两侧；

两个散热扇11，两个所述散热扇11均固定安装于所述u形空腔3内壁的顶部两侧且位于所述放置腔2的顶部；

两个水箱6，两个所述水箱6均固定安装于所述箱体1的两侧；

冷却装置7，所述冷却装置7固定安装于所述水箱6的顶部，所述冷却装置7包括抽水泵71，所述抽水泵71输出端连通有连接管73，所述连接管73的一端连通有二通管74，所述二通管74的一侧连通有输水管75，所述输水管75的一端贯穿所述冷却箱4的顶部且延伸至所述冷却箱4的内部，所述输水管75的一端连通有四通管76，所述四通管76的两侧均连通有冷却管77。

在冷却箱4内部安装有四个四通管76和四组冷却管77，每两个四通管76之间都连通有输水管75，最底部的输水管75连通有二通管74。

所述抽水泵71的一侧与所述水箱6顶部的中间固定连接，所述抽水泵71输入端连通有进水管72，所述进水管72的一端贯穿所述水箱6的顶部且延伸至所述水箱6的内部，两个所述冷却管77的一端与所述冷却箱4内部的两侧固定连接。

所述冷却箱4内壁底部的二通管74的一端连通有出水管14，所述出水管14的一端贯穿所述冷却箱4内壁的一侧且延伸至所述水箱6的内部，所述冷却箱4的顶部且位于所述输水管75的两侧设置有第一散热网10。

所述放置腔2内壁的底部两侧均开设有出气管8，所述出气管8的一端贯穿所述冷却箱4的外侧且延伸至所述冷却箱4的内部，所述出气管8的一端固定安装有第一防尘网9。

放置腔2底部的两侧都连通有两个出气管8，每个出气管8上都设置有第一防尘网9。

所述冷却箱4的底部两侧均固定安装有支撑杆5，两个所述支撑杆5的一端与所述u形空腔3两侧内壁的底部固定连接。

所述放置腔2的顶部固定安装有第二散热网12，所述箱体1的顶部且位于两个所述散热扇11的两侧均设置有第二防尘网13，两个所述水箱6的顶部一侧均连通有注水管16。

在箱体1的顶部设置有三个第二防尘网13，并且两个散热扇11安装在第二散热网的顶部。

所述放置腔2的内部设置有货架15，所述箱体1的正面且位于所述放置腔2的一侧开设有箱门17。

工作时，操作者先将箱体1正面的箱门17打开，在将装满货物的货架15推入箱体1上内部的放置腔2的内部，在关闭箱门17启动电源对放置腔2内部的货物进行加热，当货物即热结束后，在将外界水源和水箱6顶部的注水管16连接对水箱6内部注入降温液体。

当水箱6的内部注满降温液体后，在启动u形空腔2内壁顶部两侧的散热扇11，使两个散热扇11将箱体1外界的气体通过第二防尘网13流入箱体1内部的u形空腔3内部，当外界的气体流入u形空腔3的内部后在通过两个散热扇11将气体通过第二散热网12流入放置腔2的内部并对放置腔2内部的货架上货物进行降温。

当外界的气体进入放置腔2后产生的热气通过出气管8和第一防尘网9流入u形空腔3两侧的冷却箱4的内部，在启动抽水泵71将水箱6内部的降温液体通过进水管72带入连接管73，在通过连接管73将降温液体通过二通管74流入输水管75的内部，在通过输水管75后将降温液体通过送入输水管75一端的四通管76的内部，在通过四通管76将降温液体通过四通管76两端的冷却管77的内部，能够对放置腔2内部流出的热气进行降温。

当冷却箱4内部输水管75、和冷却管77内部的降温液体温度升高后通过了冷却箱4内壁底部的出水管14将高温的降温液体流入水箱6的内部，使高温的降温液体与水箱6内部的降温液体进行混合，在通过抽水泵71将降温液体通过进水管72带入冷却箱4的内部进行循环利用，当冷却箱4内部降温的气体在通过第一散热网10流入u形空腔3的内部，在通过两个散热扇11将降温后的气体在通过第二散热网12流入放置腔2的内部在次对放置腔2内部的货物进行降温，当放置腔2内部的货物冷却后操作者打开箱体1正面的箱门17推出放置腔2外部即可进行下一步的操作。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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