具有回旋板的半导体晶粒拉晶管的制作方法
本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的耗材,特别是涉及拉晶管。
背景技术:
晶粒是制造半导体致冷件的部件,晶粒的主要成分是三碲化二铋,作为制造致冷件的晶粒要求其内部的分子排列整齐,晶粒里面的分子排列越整齐,致冷件的效率就越高。
晶粒是由晶棒切割而成的,这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
制造晶棒时,对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶,拉晶是晶棒盛装在拉晶管中、拉晶管放置在拉晶炉中进行拉晶的;所述的拉晶炉是一个摇摆炉,在拉晶的过程中拉晶炉还在不断的晃动,使晶棒在拉晶管中不断的晃动和回旋翻转,以达到更好的拉晶效果。
拉晶管具有里面的管腔,现有技术中,管腔里面没有帮助使晶棒回旋分离的设置,存在着拉晶时间长的缺点,还影响了晶棒的一致性,具有使用不便的缺点。
技术实现要素:
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种拉晶时间短、生产效率高的半导体晶粒拉晶管——具有回旋板的半导体晶粒拉晶管。
本实用新型的技术方案是这样实现的:具有回旋板的半导体晶粒拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有管腔,其特征是:所述的管腔设置有回旋板,所述的回旋板占据左右部位的中间位置,并倾斜朝上设置。
进一步地讲,所述拉晶管具有中心线,所述的回旋板和中心线的夹角是40—50°。
进一步地讲,所述的回旋板是多个的,多个回旋板在管腔内上下均匀分布。
进一步地讲,所述的管腔横截面是方形的结构。
本实用新型的有益效果是:这样的拉晶管具有拉晶时间短、生产效率高的优点。
附图说明
图1是本实用新型的纵剖面结构示意图。
图2是图1中的a—a方向的剖面示意图。
其中:1、拉晶管本体2、管腔3、回旋板4、中心线。
ɑ—回旋板和中心线的夹角。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1、2所示,具有回旋板的半导体晶粒拉晶管,包括拉晶管本体1,所述的拉晶管本体具有管腔2,其特征是:所述的管腔设置有回旋板3,所述的回旋板占据左右部位的中间位置,并倾斜朝上设置。
所述的回旋板占据左右部位的中间位置也就是回旋板左侧和右侧是上下贯通的。
本实用新型这样设置,在拉晶管晃动(拉晶)的过程中,晶棒会从回旋板右侧进行,经过回旋板从回旋板左侧下降,形成循环,可以加快晶棒的混合,达到本实用新型的目的,图1中箭头f的方向是晶棒回旋的方向。
进一步地讲,所述拉晶管具有中心线4,所述的回旋板和中心线的夹角ɑ是40—50°。
进一步地讲,所述的回旋板是多个的,多个回旋板在管腔内上下均匀分布。
本实用新型这样设置,可以达到较好的混合效果。
进一步地讲,所述的管腔横截面是方形的结构。
本实用新型这样设置,可以提高晶棒的使用率,也可以提高晶棒的均质效率。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本发明的说明书的范围当中。
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