一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置的制作方法
本实用新型涉及探测器级的超高纯锗提纯设备,特别涉及一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置。
背景技术:
现代科学研究,国民经济很多领域均需要使用超高纯锗γ射线、x射线的辐射探测器极其能谱仪进行核辐射的探测,而用超高纯锗单晶制造的γ射线探测器是所有能量分辨率小于0.2%的γ射线探测器中分辨率最好的一种。这种探测器的锗单晶材料,其净杂质浓度必须小于2x1010cm-3。要想获得如此高纯度的锗单晶,在用通常化学方法提纯得到5~6个9的纯度的锗多晶之后还需采用特殊的区熔提纯方法得到探测器级锗多晶材料。
区熔提纯方法需要用到超高纯锗区熔炉,通常超高纯锗区熔炉的密封结构采用石英管与变径管焊接方式,使得焊接处容易产生缝隙,造成漏气。此外,变径管与外部软管连接采用喉箍锁紧的方式,这种方式也容易造成漏气。漏气会使石英管中进入杂质气体如空气,影响提纯精度。
技术实现要素:
鉴于现有技术存在的问题,本实用新型提供一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,采用氟胶圈和法兰组件进行密封,这种结构有很好的密封效果,解决了以前设备密封处容易漏气的问题,此外采用刚性大的支撑结构,使之能抵消抽真空和充气时石英管受到横向力。具体技术方案是,一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,包括石英管、涨紧环、圆螺母、氟胶圈、支撑框架、螺栓、蝶形螺母、保护隔套、和密封套,其特征在于:所述的涨紧环为带凸台的空心法兰,在法兰一端的端面上有法兰沉头孔;所述的保护隔套为圆环状、外直径与密封套有外螺纹一端的内径相配合,内径与石英管的内径相等,所述的氟胶圈为o型圈,氟胶圈内径等于石英管外径,氟胶圈截面圆的直径约为涨紧环的凸台端面外、内径之差的一半;所述的密封套为一阶梯型空心管,一端有外螺纹)、另一端为小空心管,外螺纹前端面至底端有数个通孔的圆孔一,在外螺纹后面的外壁面上有凸肩,密封套的内壁距外螺纹端口距离略小于涨紧环的凸台高度处有斜凸台,所述的密封套的小空心管通过弯头与法兰固定成一体,法兰端面有四个圆孔二),所述的支撑框架为倒t型结构,立面为中空,上部有一个通孔的圆孔三,侧面有加强筋,倒t型横面上有安装孔,保护隔套置于密封套有外螺纹一端的内底面,氟胶圈置于密封套的斜凸台处,石英管穿过涨紧环和氟胶圈后穿入密封套内,使石英管悬挂在氟胶圈内并与保护隔套贴合,螺栓依次穿过沉头孔和圆孔一,并用蝶形螺母锁紧,密封套穿过支撑框架的圆孔三,卡于凸肩处,另一端用圆螺母锁紧。
本实用新型的优点是:1、采用氟胶圈密封,较以前常用的石英管焊接方式,具有密封性能好,避免了石英管与变径管焊接处开焊,从而导致漏气的问题。2、使用法兰与金属软管连接,使接口密封性更好,解决了以前直接用喉箍将石英管与软管连接,连接处容易漏气的问题。3、整个装置的支撑部分采用刚性大并带有加强筋的结构,避免了之前的设备在将石英管抽真空和充气时石英管受到横向力产生倾斜从而引起气体泄露的问题。
附图说明
图1是本实用新型结构总图爆炸视图;
图2是本实用新型涨紧环结构图;
图3是本实用新型保护隔套结构图;
图4是本实用新型密封套结构图;
图5是本实用新型支撑框架结构图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
如图1~图5所示,一种新型超高纯锗区熔炉设备密封装置,包括石英管101、涨紧环102、圆螺母103、氟胶圈104、支撑框架105、螺栓106、蝶形螺母107、保护隔套108和密封套109,
涨紧环102为带凸台102b的空心法兰,在法兰109g一端的端面上有法兰沉头孔102a;
保护隔套108为圆环状、外直径与密封套109有外螺纹109a一端的内径相配合,内径与石英管101的内径相等,所述的氟胶圈104为o型圈,氟胶圈104内径等于石英管101外径,氟胶圈104截面圆的直径约为涨紧环102的凸台102b端面外、内径之差的一半;
密封套109为一阶梯型空心管,一端有外螺纹109a、另一端为小空心管109d,外螺纹109a前端面至底端有数个通孔的圆孔一109h,在外螺纹后面的外壁面上有凸肩109c,密封套109的内壁距外螺纹109a端口距离略小于涨紧环102的凸台102b高度处有斜凸台109b,
密封套109的小空心管109d通过弯头109e与法兰109g固定成一体,法兰109g端面有四个圆孔二109f,
支撑框架105为倒t型结构,立面为中空,上部有一个通孔的圆孔三105a,侧面有加强筋105b,倒t型横面上有安装孔105c,
保护隔套108置于密封套109有外螺纹109a一端的内底面,氟胶圈104置于密封套109的斜凸台109b处,石英管101穿过涨紧环102和氟胶圈104后穿入密封套109内,使石英管101悬挂在氟胶圈104内并与保护隔套108贴合,螺栓106依次穿过沉头孔102a和圆孔一109h,并用蝶形螺母107锁紧,密封套109穿过支撑框架105的圆孔三105a,卡于凸肩109c处,另一端用圆螺母103锁紧。
保护隔套108和氟胶圈104均采用聚四氟乙烯材质,涨紧环102、密封套109、支撑框架105、圆螺母103、螺栓106和蝶形螺母107采用304不锈钢材质。
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