玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法与流程

本发明涉及玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法。

背景技术：

在专利文献1、2中公开了在原料气体的供给配管设置有过滤器的玻璃原料供给装置。

专利文献1：日本实开平2－82735号公报

专利文献2：日本实开昭62－101832号公报

在将制造玻璃微粒沉积体的原料气体供给至反应容器的玻璃原料供给装置中，有时在玻璃原料中混入有杂质。因此，在对汽化的原料气体进行输送的配管的中途附带过滤器，利用过滤器将杂质去除，将清洁的原料气体向反应容器输送。

如果使玻璃原料供给装置持续运转，则在过滤器内不断积存杂质，有可能过滤器堵塞。因此，需要在过滤器堵塞前更换为新的过滤器。在更换该过滤器时，如果过滤器内的残留气体向外泄漏，则发生安全卫生方面的问题，因此如果不将残留气体降低至在劳动安全卫生法中规定的基准以下，则无法拆卸过滤器。因此，需要通过氮气等对过滤器内的残留气体进行净化(purge)，但残留气体的净化花费时间。因此，为了更换过滤器，需要长时间将玻璃原料供给装置停止。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于，提供能够缩短过滤器更换的时间的玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法。

本发明的一个方式所涉及的玻璃原料供给装置具有：

汽化装置，其使玻璃原料汽化而作为原料气体；

第一配管，其成为所述原料气体的流路；

过滤器部，其将所述原料气体的杂质去除；

第二配管，其成为将杂质去除后的所述原料气体的流路；

流量控制装置，其对所述原料气体的流量进行控制；

第一连接接头；以及

第二连接接头，

所述过滤器部具有第一阀、气管过滤器和第二阀，

所述汽化装置与所述第一配管的一端部连接，

所述第一配管的另一端部经由所述第一连接接头而与所述第一阀的一方的开口部连接，

所述第一阀的另一方的开口部与所述气管过滤器的气体的流入侧端部连接，

所述气管过滤器的气体的排出侧端部与所述第二阀的一方的开口部连接，

所述第二阀的另一方的开口部经由所述第二连接接头而与所述第二配管的一端部连接，

所述第二配管的另一端部与所述流量控制装置连接。

另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，其是在玻璃原料供给装置中更换过滤器部的过滤器更换方法，

该玻璃原料供给装置具有：

汽化装置，其使玻璃原料汽化而为原料气体；

第一配管，其成为所述原料气体的流路；

将所述原料气体的杂质去除的所述过滤器部；

第二配管，其成为将杂质去除后的所述原料气体的流路；

流量控制装置，其对所述原料气体的流量进行控制；

第一连接接头；以及

第二连接接头，

所述过滤器部具有第一阀、气管过滤器和第二阀，

所述汽化装置与所述第一配管的一端部连接，

所述第一配管的另一端部经由所述第一连接接头而与所述第一阀的一方的开口部连接，

所述第一阀的另一方的开口部与所述气管过滤器的气体的流入侧端部连接，

所述气管过滤器的气体的排出侧端部与所述第二阀的一方的开口部连接，

所述第二阀的另一方的开口部经由所述第二连接接头而与所述第二配管的一端部连接，

所述第二配管的另一端部与所述流量控制装置连接，

该玻璃原料供给装置的过滤器更换方法包含下述工序：

第一工序，将所述第一阀及所述第二阀设为关闭状态，针对所述第一配管及第二配管的所述过滤器部侧的至少一部分，使氮气流动而进行净化；

第二工序，一边使氮气流动，一边将所述过滤器部从该玻璃原料供给装置拆卸；

第三工序，准备与所述过滤器部相同的结构且所述第一阀及所述第二阀成为关闭状态的新过滤器部，将该新过滤器部安装于该玻璃原料供给装置；以及

第四工序，将所述第一阀及所述第二阀设为打开状态，针对所述第一配管及第二配管的所述过滤器部侧的至少一部分和所述新过滤器部内进行利用氮气的净化。

发明的效果

根据本发明所涉及的玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，能够缩短过滤器更换的时间。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的玻璃原料供给装置的概略结构图。

图2是表示玻璃原料供给装置的过滤器部的图。

图3是对过滤器部的更换方法进行说明的图。

图4是表示现有的过滤器部的更换方法的图。

标号的说明

1：玻璃原料供给装置

10：汽化装置

21：原料阀

30：原料气体配管(第一配管的一个例子)

32、61：分支部

40：净化气体配管

41：净化阀

50：过滤器部

51：气管过滤器

52：流入侧阀(第一阀的一个例子)

53：排出侧阀(第二阀的一个例子)

60：原料气体配管(第二配管的一个例子)

70：mfc(流量控制装置的一个例子)

71：原料气体供给管

80：旁通配管

81：旁通用阀(第三阀的一个例子)

90a：流入侧接头(第一连接接头的一个例子)

90b：排出侧接头(第二连接接头的一个例子)

100：反应容器

101：燃烧器

具体实施方式

(本发明的实施方式的说明)

首先，列举本发明的实施方式而进行说明。

本发明的一个方式所涉及的玻璃原料供给装置，

(1)具有：

汽化装置，其使玻璃原料汽化而作为原料气体；

第一配管，其成为所述原料气体的流路；

过滤器部，其将所述原料气体的杂质去除；

第二配管，其成为将杂质去除后的所述原料气体的流路；

流量控制装置，其对所述原料气体的流量进行控制；

第一连接接头；以及

第二连接接头，

所述过滤器部具有第一阀、气管过滤器和第二阀，

所述汽化装置与所述第一配管的一端部连接，

所述第一配管的另一端部经由所述第一连接接头而与所述第一阀的一方的开口部连接，

所述第一阀的另一方的开口部与所述气管过滤器的气体的流入侧端部连接，

所述气管过滤器的气体的排出侧端部与所述第二阀的一方的开口部连接，

所述第二阀的另一方的开口部经由所述第二连接接头而与所述第二配管的一端部连接，

所述第二配管的另一端部与所述流量控制装置连接。

根据上述玻璃原料供给装置，在过滤器部的前后存在阀(第一阀及第二阀)，因此能够将这些阀设为关闭状态而将过滤器部拆卸。由此，在更换过滤器部时，无需在过滤器部内使氮气流动而去除过滤器部内的残留气体，因此能够缩短过滤器部的更换时间。因此，能够在过滤器更换时缩短将玻璃原料供给装置停止的时间，因此能够缩短将被供给玻璃原料的玻璃母材的制造装置停止的时间。

(2)也可以是所述第一配管及所述第二配管在配管的中途分别设置有分支部，

具有将所述第一配管的分支部和所述第二配管的分支部连接的旁通配管，

所述旁通配管在该旁通配管的中途具有将流路开闭的第三阀。

根据上述玻璃原料供给装置，即使仅从第一配管侧(或者第二配管侧)供给氮气，通过旁通配管也能够向第二配管侧(或者第一配管侧)供给氮气。由此，能够将氮气的供给路径简单化。

另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，

(3)其是在玻璃原料供给装置中更换过滤器部的过滤器更换方法，

该玻璃原料供给装置具有：

汽化装置，其使玻璃原料汽化而设为原料气体；

第一配管，其成为所述原料气体的流路；

将所述原料气体的杂质去除的所述过滤器部；

第二配管，其成为将杂质去除后的所述原料气体的流路；

流量控制装置，其对所述原料气体的流量进行控制；

第一连接接头；以及

第二连接接头，

所述过滤器部具有第一阀、气管过滤器和第二阀，

所述汽化装置与所述第一配管的一端部连接，

所述第一配管的另一端部经由所述第一连接接头而与所述第一阀的一方的开口部连接，

所述第一阀的另一方的开口部与所述气管过滤器的气体的流入侧端部连接，

所述气管过滤器的气体的排出侧端部与所述第二阀的一方的开口部连接，

所述第二阀的另一方的开口部经由所述第二连接接头而与所述第二配管的一端部连接，

所述第二配管的另一端部与所述流量控制装置连接，

该玻璃原料供给装置的过滤器更换方法包含下述工序：

第一工序，将所述第一阀及所述第二阀设为关闭状态，针对所述第一配管及第二配管的所述过滤器部侧的至少一部分，使氮气流动而进行净化；

第二工序，一边使氮气流动，一边将所述过滤器部从该玻璃原料供给装置拆卸；

第三工序，准备与所述过滤器部相同的结构且所述第一阀及所述第二阀成为关闭状态的新过滤器部，将该新过滤器部安装于该玻璃原料供给装置；以及

第四工序，将所述第一阀及所述第二阀设为打开状态，针对所述第一配管及第二配管的所述过滤器部侧的至少一部分和所述新过滤器部内进行利用氮气的净化。

根据上述玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，将处于过滤器部的前后的阀(第一阀及第二阀)设为关闭状态，能够对过滤器部进行更换。由此，在更换过滤器部时，无需使氮气在过滤器部内流动而去除过滤器部内的残留气体，因此能够缩短过滤器部的更换时间。因此，能够在过滤器更换时缩短将玻璃原料供给装置停止的时间，因此能够缩短将被供给玻璃原料的玻璃母材的制造装置停止的时间。

(4)也可以是所述新过滤器部预先填充有氮气，

所述第四工序将所述第一阀及所述第二阀设为关闭状态，针对所述第一配管及第二配管的所述过滤器部侧的至少一部分进行利用氮气的净化。

根据上述玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，由于更换为预先填充有氮气的新过滤器部，因此无需针对新过滤器部内进行利用氮气的净化，因此能够缩短第四工序的时间。由此，能够进一步缩短过滤器部的更换时间。

(本发明的实施方式的详细内容)

参照附图，对本发明的实施方式所涉及的玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法的具体例进行说明。

此外，本发明不受这些例示所限定，而是由权利要求书示出，包含与权利要求书等同的内容及其范围内的全部变更。

图1是表示本发明的实施方式所涉及的玻璃原料供给装置的一个例子的概略结构图。如图1所示，本例的玻璃原料供给装置1具有汽化装置10、原料气体配管20、原料气体配管30(第一配管的一个例子)、净化气体配管40、过滤器部50、原料气体配管60(第二配管的一个例子)、mfc70(流量控制装置的一个例子)和旁通配管80。玻璃原料供给装置1是将用于制造玻璃微粒沉积体的玻璃原料向在反应容器100内配置的玻璃微粒生成用的燃烧器101供给的装置。在反应容器100中，例如通过vad法、ovd法对光纤用的圆柱状玻璃母材等进行合成。

在汽化装置10中，液体的玻璃原料以密闭的状态进行储存。玻璃原料例如为四氯化硅(sicl4)等。汽化装置10使液体的玻璃原料汽化而生成原料气体。

原料气体配管20的一端部与汽化装置10连接。从汽化装置10送出的原料气体在原料气体配管20中流动。原料气体配管20在与连接上述汽化装置10侧的端部相反侧的端部安装有原料阀21的一方的开口部。原料阀21例如是通过被供给的空气对开闭进行控制的气体驱动阀。原料阀21中的与连接于上述原料气体配管20侧的开口部相反侧的开口部连接于原料气体配管30的一端部。通过将原料阀21控制为关闭状态，从而从原料气体配管20向原料气体配管30流动的原料气体的气流被切断。

原料气体配管30的与连接上述原料阀21侧的端部相反侧的端部连接于过滤器部50的流入侧。从原料气体配管20输送的原料气体在原料气体配管30中流动。另外，原料气体配管30在该配管的中途设置有合流部31。被供给将配管内净化的净化气体(例如，氮气等)的净化气体配管40的一端部与合流部31连接。合流部31设置于原料气体配管30中的靠近原料阀21的位置。

在净化气体配管40设置有能够将净化气体的流路设为打开状态或者关闭状态的净化阀41。净化阀41例如是通过被供给的空气对开闭进行控制的空气驱动阀。通过将净化阀41设为打开状态，从而净化气体经由净化气体配管40而供给至原料气体配管30。

过滤器部50具有流入侧阀52(第一阀的一个例子)、气管过滤器51和排出侧阀53(第二阀的一个例子)。

流入侧阀52是在过滤器部50中设置于气管过滤器51的初级侧的阀。初级侧是指原料气体流动的方向上的上游侧。上述的原料气体配管30中的上述相反侧的端部与该流入侧阀52的输入开口部连接。在流入侧阀52中，与连接上述原料气体配管30侧的输入开口部相反侧的输出开口部连接于气管过滤器51中的原料气体流入侧的端部。流入侧阀52例如由手动阀构成。通过将流入侧阀52设为关闭状态，从而从原料气体配管30向过滤器部50流入的原料气体的流入被切断。

气管过滤器51是用于将原料气体所包含的杂质去除的过滤器。气管过滤器51的与连接上述流入侧阀52侧的端部相反侧的端部、即排出原料气体侧的端部连接于排出侧阀53的输入开口部。气管过滤器51对经由流入侧阀52流入的原料气体进行清洁，将清洁的原料气体经由排出侧阀53排出。

排出侧阀53是在过滤器部50中设置于气管过滤器51的次级侧的阀。次级侧是指原料气体流动的方向上的下游侧。排出侧阀53的与连接上述气管过滤器51侧的输入开口部相反侧的输出开口部连接于原料气体配管60的一端部。排出侧阀53例如由手动阀构成。通过将排出侧阀53设为关闭状态，从而从过滤器部50向原料气体配管60排出的原料气体的排出被切断。

原料气体配管60的与连接上述排出侧阀53侧的端部相反侧的端部连接于mfc(massflowcontroller)70的流入侧。从过滤器部50排出的原料气体在原料气体配管60中流动。

mfc70的输出侧经由原料气体供给管71连接于反应容器100的燃烧器101。mfc70是对向反应容器100的燃烧器101供给的原料气体的流量进行控制的装置。

旁通配管80是相对于在原料气体配管30和原料气体配管60之间连接的过滤器部50而设置的迂回的气体流路。旁通配管80设置为使在原料气体配管30设置的分支部32和在原料气体配管60设置的分支部61连通。分支部32设置于原料气体配管30中的靠近过滤器部50的位置。分支部61设置于原料气体配管60中的靠近过滤器部50的位置。在旁通配管80的中途设置有能够使气体流路开闭的旁通用阀81(第三阀的一个例子)。旁通用阀81例如由手动阀构成。通过将旁通用阀81设为关闭状态，从而从原料气体配管30经由旁通配管80向原料气体配管60输送的原料气体的气流被切断。此外，旁通用阀81与上述原料阀21同样地，可以由通过被供给的空气对开闭进行控制的空气驱动阀(自动阀)构成。另外，在本例中设置有旁通配管80，但也可以设为不具有旁通配管80的结构。

图2是表示过滤器部50的安装结构的图。如图2所示，在原料气体配管30的端部设置有流入侧接头90a(第一连接接头的一个例子)。另外，在原料气体配管60的端部设置有排出侧接头90b(第二连接接头的一个例子)。原料气体配管30经由流入侧接头90a而连接于流入侧阀52的输入开口部。另外，原料气体配管60经由排出侧接头90b而连接于排出侧阀53的输出开口部。过滤器部50经由流入侧接头90a及排出侧接头90b相对于玻璃原料供给装置1能够装卸地设置。

此外，在本例的玻璃原料供给装置1中，对将汽化装置10的玻璃原料供给至一个燃烧器101的情况进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以构成为从汽化装置送出的原料气体分支至多个系统的原料气体配管，向与各原料气体配管连接的燃烧器供给原料气体。在该情况下，在各系统设置过滤器部50、mfc70等。

如上所述构成的玻璃原料供给装置1在制造玻璃微粒沉积体时按照下述方式进行动作。将净化阀41关闭而将原料阀21打开，将流入侧阀52和排出侧阀53打开，将旁通用阀81关闭。由此，从汽化装置10送出的原料气体流过原料气体配管20和原料气体配管30而送入至过滤器部50。送入至过滤器部50的原料气体在通过气管过滤器51将杂质去除后，流过原料气体配管60而输送至mfc70。原料气体一边通过mfc70适当地控制流量一边供给至反应容器100的燃烧器101。由此，清洁度高的玻璃微粒沉积体在反应容器100中进行制造。

然而，如果将玻璃原料供给装置1持续运转，则去除的杂质会积存于气管过滤器51内，该气管过滤器51有可能引起堵塞。因此，需要在气管过滤器51堵塞前更换为新的气管过滤器51。

接下来，参照图3对玻璃原料供给装置1中的过滤器部50的更换方法进行说明。

图3是表示图1中的过滤器部50周边部分的图。过滤器部50的更换方法例如由在图3中从左向右行进的各工序表示。此外，图3中的各阀的颜色(黑白)在黑色的情况下表示打开状态，在白色的情况下表示关闭状态。

图3的最左侧所示的工序表示对过滤器部50进行更换前的净化工序(下面，称为前净化工序)。在该前净化工序中，将原料阀21设为关闭状态，将来自汽化装置10的原料气体的供给切断。另外，将过滤器部50的流入侧阀52设为关闭状态而将过滤器部50和原料气体配管30之间的流路切断，并且将排出侧阀53设为关闭状态而将过滤器部50和原料气体配管60之间的流路切断。另外，将旁通用阀81设为打开状态，使原料气体配管30和原料气体配管60之间通过旁通配管80而连通。然后，将净化阀41设为打开状态而将氮气供给至净化气体配管40。被供给的氮气从原料气体配管30经由旁通配管80向原料气体配管60流动。由此，将原料气体配管30、旁通配管80及原料气体配管60由氮气净化。

图3的从左侧起第二个所示的工序表示将过滤器部50拆卸的拆卸工序。在该拆卸工序中，与上述前净化工序同样地一边使氮气流动，一边将过滤器部50从玻璃原料供给装置1拆卸。由于氮气流动，因此即使在过滤器部50被拆卸的状态下，也能够防止空气流入原料气体配管30内及原料气体配管60内。

图3的从左侧起第三个所示的工序表示安装新的过滤器部(新过滤器部)50的安装工序和安装了该新的过滤器部50后的净化工序(下面，称为后净化工序)。在该安装工序中，预先准备有与被拆卸的过滤器部50相同结构的新的过滤器部50。准备的新的过滤器部50将流入侧阀52和排出侧阀53一起设为关闭状态。新的过滤器部50在过滤器部50内预先填充有氮气。与上述前净化工序同样地一边使氮气流动，一边将新的过滤器部50安装于玻璃原料供给装置1。另外，在该后净化工序中，在安装新的过滤器部50后，与上述前净化工序同样地使氮气流动，对原料气体配管30、旁通配管80及原料气体配管60进行净化。

此外，也可以是在该后净化工序中，将新的过滤器部50的流入侧阀52和排出侧阀53设为打开状态，并且在将旁通配管80的旁通用阀81设为关闭状态后，使氮气流动，对原料气体配管30、新的过滤器部50及原料气体配管60进行净化。另外，例如在不具有旁通配管80的结构中，也可以是在安装新的过滤器部50后，将流入侧阀52和排出侧阀53设为打开状态，通过氮气对原料气体配管30、新的过滤器部50及原料气体配管60进行净化。

图3的最右侧所示的工序表示更换过滤器部50后的使用开始工序。在该使用开始工序中，将新的过滤器部50的流入侧阀52和排出侧阀53设为打开状态，将旁通配管80的旁通用阀81设为关闭状态。然后，将净化阀41设为关闭状态，并且将原料阀21设为打开状态，从汽化装置10供给原料气体。

图4表示现有的玻璃原料供给装置中的气管过滤器的更换方法的一个例子。图4中的更换方法的各工序表示为分别与通过上述玻璃原料供给装置1中的过滤器部50的更换方法进行说明的图3的各工序对应。此外，图4中的各阀的颜色(黑白)在黑色的情况下表示打开状态，在白色的情况下表示关闭状态。

在图4的最左侧所示的前净化工序中，将原料阀121设为关闭状态而将原料气体的供给切断，将净化阀141设为打开状态而使氮气流动，由此对在气管过滤器151内残留的原料气体(sicl4)进行净化。sicl4如果与空气接触，则进行加水分解而分解为sio2和hcl。hcl存在安全卫生方面的问题，因此在拆卸气管过滤器151时，需要充分地(例如，hcl浓度小于2ppm)去除以使得在内部不残留原料气体。但是，为了将在气管过滤器151中残留的原料气体通过氮气进行净化而需要长时间(例如，15小时左右)。

在图4的从左侧起第二个所示的拆卸工序中，将气管过滤器151从玻璃原料供给装置拆卸。此时，在原料气体配管130中使氮气流动，并且将净化阀142设为打开状态，一边在原料气体配管160中也使氮气流动、一边将气管过滤器151拆卸。

在图4的从左侧起第三个所示的后净化工序中，在安装新的气管过滤器151后，从原料气体配管130侧起在该新的气管过滤器151中使氮气流动，对气管过滤器151内进行净化。更换后的新的气管过滤器151由于是与通常的气管过滤器相同的结构，因此在内部残留有空气。因此，为了将该残留空气去除而需要通过氮气进行的净化。而且，该净化也需要长时间(例如，1小时左右)。

在图4的最右侧所示的使用开始工序中，将净化阀141设为关闭状态，并且将原料阀121设为打开状态，从汽化装置10供给原料气体。

如上所述，在现有的气管过滤器的更换方法中，为了对残留原料气体和残留空气进行净化而需要长时间，在该期间，需要停止玻璃原料供给装置的运转。特别地，在如实施使用许多燃烧器的ovd法的装置这样能够供给大量的玻璃原料的装置中，在各燃烧器连接mfc，因此所使用的气管过滤器的数量也增加。因此，气管过滤器的更换频度变高，玻璃原料供给装置停止运转的时间也变长。

与此相对，上述实施方式所涉及的玻璃原料供给装置1在过滤器部50中的气管过滤器51的前后具有阀(流入侧阀52及排出侧阀53)。因此，通过将这些阀设为关闭状态，从而能够在将残留于气管过滤器51中的原料气体(sicl4)封闭在过滤器部50内的状况下直接将过滤器部50从玻璃原料供给装置1拆卸。因此，在拆卸过滤器部50时，无需在过滤器部50内使氮气流动而去除过滤器部50内的残留气体。由此，根据玻璃原料供给装置1，能够缩短过滤器部50的更换时间。另外，能够缩短与过滤器更换相伴的玻璃原料供给装置1的运转停止的时间，因此能够缩短被供给玻璃原料的玻璃母材制造装置停止的时间。

另外，玻璃原料供给装置1具有使原料气体配管30的分支部32和原料气体配管60的分支部61连通的旁通配管80。因此，通过经由净化气体配管40仅从原料气体配管30供给氮气，从而经由旁通配管80也能够向原料气体配管60供给氮气。由此，能够使氮气的供给路径简单化，并且能够容易地对原料气体配管60及旁通配管80进行净化。

另外，过滤器部50在原料气体的流路中，配置于汽化装置10和mfc70之间，因此能够抑制原料气体所包含的杂质进入至mfc70，能够使mfc70的故障频度降低。

另外，根据本实施方式所涉及的玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，通过将在过滤器部50中的气管过滤器51的前后设置的阀(流入侧阀52及排出侧阀53)设为关闭状态，从而能够对过滤器部50进行更换。因此，在更换过滤器部50时，无需使氮气在过滤器部50内流动而去除过滤器部50内的残留气体，因此能够缩短过滤器部50的更换时间。另外，在更换过滤器部50时能够缩短将玻璃原料供给装置1停止的时间，因此能够缩短将被供给玻璃原料的玻璃母材制造装置停止的时间。

另外，根据本实施方式所涉及的玻璃原料供给装置的过滤器更换方法，更换为预先填充有氮气的新的过滤器部50，因此无需针对更换后的新的过滤器部50内进行利用氮气的净化。由此，能够缩短过滤器部50更换后的净化时间，因此能够进一步缩短过滤器部50的更换时间。

(实施例)

如表1所示，准备过滤器结构不同的玻璃原料供给装置(对比例和实施例)，对使用各玻璃原料供给装置的过滤器更换方法(对比例参照图4、实施例参照图3)中的各工序的所需时间进行了比较。此外，更换前的所需时间是指为了达到拆卸过滤器所要求的残留气体浓度(hcl浓度小于2ppm)而所需的时间。更换后的所需时间是指为了达到新的过滤器的使用开始所需要的露点温度(小于或等于－70℃)而所需的时间。

[表1]

如表1所示，能够将过滤器更换前的所需时间相对于对比例的15小时而在实施例中缩短为1小时。另外，能够将至过滤器更换后的使用开始为止的所需时间相对于对比例的1小时而在实施例中缩短为5分钟。由此，能够将过滤器更换所需要的合计所需时间相对于对比例的16小时5分钟而在实施例中缩短为1小时10分钟。

另外，能够将与过滤器更换相伴而发生的母材制造的机会损耗(比率)相对于对比例的1而在实施例中减少为0.05～0.1。并且，能够将母材的拉丝时断线频度(比率)相对于对比例的1而在实施例中减少为1/2。另外，能够将mfc的故障频度(比率)相对于对比例的1而在实施例中减少为1/5。

以上，详细且参照特定的实施方式对本发明进行了说明，但对于本领域的技术人员而言，显然可以在不脱离本发明的精神、范围的前提下进行各种变更或修正。另外，上述说明的结构部件的数量、位置、形状等并不限定于上述实施方式，能够变更为适于实施本发明的数量、位置、形状等。

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