复合玻璃板及制备方法和应用与流程

本发明涉及电子玻璃技术领域，具体地涉及一种复合玻璃板及制备方法和应用。

背景技术：

显示技术日新月异发展，同时市场对显示器件轻薄化有了更高的需求，要求生产显示器件的原材料也要满足轻薄化的需求。

现有面板厂的某些高端机种需进行显示器件的薄化处理，一般采用化学减薄工艺。然而化学减薄工艺需要大量使用氢氟酸等强酸，不仅加工处理成本高，而且不符合节能环保要求。随着全球环保力度的加大，化学减薄的生产方式逐步受到限制或禁止。也有部分玻璃基板生产厂商可直接批量生产0.25mm及以下的薄玻璃基板。而如果面板厂直接采用0.25mm以下的薄玻璃基板进行生产，由于基板过薄，自身支撑强度无法承受自重，下垂过大，导致面板产线无法过片，无法满足现有面板产线的要求。

目前行业内采用的解决方案主要是将一片薄玻璃基板与一片较厚的玻璃贴合后组成复合玻璃板进行使用，贴合则采用直接真空贴合、耐高温有机硅树脂贴合和无机层贴合等方式，但是这些方式仍存在很多不足之处，且大多不实用。例如，直接真空贴合后会产生气泡、牛顿环等缺陷，在取片、存放和输送过程中发生局部剥离开等问题；同时，真空贴合所需的设备复杂、投资较大，成本较高；真空贴合复合板在高温制程后贴合力增强，无法剥离，导致剥离破片。耐高温有机硅树脂贴合后，经过高温处理工艺，粘结力增大，造成剥离困难，导致剥离破片，且薄玻璃基板表面留有残胶难以清洗；同时，有机硅树脂的合成工艺复杂，性能不稳定，在相对封闭的空间内存在多种挥发性有机物，存在安全隐患，对操作人员的健康也造成损害。无机层贴合需要大型蒸镀设备，投资高、成本高，贴合效果不佳，气泡问题难以解决，且剥离工序复杂，难以在实际产线中推广应用。

在此背景下，如何研究开发新产品和新工艺、合理应用超薄玻璃基板成为电子显示产业链中亟待攻克的一个难题。

技术实现要素：

本发明的目的是为了克服现有技术存在的上述技术问题，提供一种复合玻璃板及制备方法和应用，本发明提供的复合玻璃板，制备方法简单，且其中的支撑层以及中间层可以重复利用，节能环保。

为了实现上述目的，本发明一方面提供一种复合玻璃板，包括玻璃基板和支撑层以及位于玻璃基板和支撑层之间的中间层，其中，所述中间层为液态，且所述中间层含有氟油、硅油、离子液体、液体树脂和液体硅橡胶中的一种或多种组分。

优选地，所述复合玻璃板的剥离力小于100n/m，更优选小于50n/m。

优选地，所述氟油选自全氟烃油、氟氯碳油和全氟醚油中的一种或多种。

优选地，所述硅油选自甲基硅油、苯基硅油和芳基硅油中的一种或多或多种。

优选地，所述离子液体选自咪唑类化合物、吡咯类化合物、吡啶类化合物和哌啶类化合物和季铵盐离子液体中的一种或多种。

优选地，所述液体树脂为松香树脂。

优选地，所述液体硅橡胶为线形聚有机硅氧烷的聚合物。

优选地，所述中间层的耐受温度大于270℃，更优选大于360℃。

优选地，在25℃下，所述中间层的粘度为0.1-20000cps。

优选地，所述中间层的含水量小于200ppm。

优选地，在25-450℃内，所述中间层的可见光透光率大于85％。

优选地，所述中间层的折射率为1.2-1.8。

优选地，所述中间层的厚度为0.001-100μm。

优选地，所述玻璃基板的厚度为0.25mm以下。

优选地，所述支撑层由选自玻璃、金属、有机高分子材料、碳纤维复合材料和石墨烯复合材料中的一种或多种材料制成。

优选地，所述支撑层的厚度为0.2-1.1mm。

优选地，所述支撑层的杨氏模量大于65gpa。

优选地，所述支撑层为玻璃，以所述玻璃各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述玻璃含有66-73mol％的sio2、11-15mol％的al2o3、0-11mol％的b2o3、1-10mol％的mgo、2-10mol％的cao、0-6mol％的sro、0-10mol％的bao、0-2mol％的zno、0-0.7mol％的re2o3和小于0.05mol％的r2o，其中，re为稀土元素，r为碱金属。

优选地，所述支撑层为玻璃，以所述玻璃各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述玻璃含有60-74mol％的sio2、8-18mol％的al2o3、1-15mol％的b2o3+p2o5、4-15mol％的na2o、0-10mol％的li2o、0-10mol％的k2o、0.5-10mol％的mgo+tio2、0-4mol％的zno和0-4wt％的y2o3+la2o3+nd2o3。

优选地，所述复合玻璃板的长度、宽度大于300mm，更优选大于1000mm。

优选地，所述玻璃基板的长度小于等于支撑层的长度。

优选地，所述玻璃基板的宽度小于等于支撑层的宽度。

优选地，所述玻璃基板的长度比支撑层的长度小0.05-20mm。

优选地，所述玻璃基板的宽度比支撑层的宽度小0.05-20mm。

第二方面，本发明提供了本发明所述的复合玻璃板的制备方法，该方法包括下述步骤：

1)将所述中间层的组分涂布于支撑层和/或玻璃基板的一个表面；

2)将支撑层与玻璃基板进行贴合。

优选地，所述方法在加热条件下进行。

优选地，所述加热的温度为50-360℃。

第三方面，本发明提供了本发明所述的复合玻璃板在制备平板/柔性显示器基板和/或载板中的应用。

具体地，本发明与现有技术相比，具有以下主要优点：

(1)不使用氢氟酸等强酸，避免污染环境；

(2)无需经过固化工序，贴合、剥离工序简单，易于实施；

(3)生产装备简单，制备方法简单，降低了产线投资成本；

(4)可以实现真空排泡，更易进行品质控制，良品率高；

(5)支撑层可重复利用，降低了生产成本，返修成本低；

(6)中间层可回收、提纯，有利于环保的同时，进一步降低了成本；

(7)可卷对卷生产柔性超薄玻璃，大幅度提高自动化水平。

附图说明

图1为本发明一实施方式的复合玻璃基本结构示意图；

图2为本发明另一实施方式的复合玻璃基本结构示意图。

附图标记说明

1-1、玻璃基板1-2、中间层1-3、支撑层

2-1、玻璃基板2-2、中间层2-3、支撑层

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

在本文中所披露的范围的端点和任何值都不限于该精确的范围或值，这些范围或值应当理解为包含接近这些范围或值的值。对于数值范围来说，各个范围的端点值之间、各个范围的端点值和单独的点值之间，以及单独的点值之间可以彼此组合而得到一个或多个新的数值范围，这些数值范围应被视为在本文中具体公开。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指附图中的上、下、左、右，“内、外”是指对应结构的内部和外部。

第一方面，本发明提供了一种复合玻璃板，包括玻璃基板和支撑层以及位于玻璃基板和支撑层之间的中间层，其中，所述中间层为液态，且所述中间层含有氟油、硅油、离子液体、液体树脂和液体硅橡胶中的一种或多种组分。

本发明通过在利用玻璃基板和支撑层之间的液体层实现将玻璃基板和支撑层贴合，从而形成一个整体，并且支撑层可重复利用，中间层也可回收、提纯重复利用，环保的同时，进一步降低了生产成本。并且，该复合玻璃板点支撑时下垂量达到了面板制程的要求，能够实现超薄玻璃基板的产线应用。

在本发明中，剥离力是指把玻璃基板和支撑层剥离开所需要的力值大小。出于对复合玻璃在后续产线应用以及便于剥离的考量，避免玻璃过程中造成剥离碎片，在本发明中，优选地，所述复合玻璃板的剥离力小于100n/m，更优选小于50n/m，进一步优选小于36n/m，更进一步优选小于18n/m。

在本发明中，中间层为液态，含有氟油、硅油、离子液体、液体树脂和液体硅橡胶中的一种或多种组分，通过液态的中间层在玻璃基板和支撑层起到填充、吸附、贴合、增透和缓冲作用，使得复合玻璃板形成有机整体，满足后续产线应用的要求。

在本发明中，氟油是指分子中含有氟元素的合成润滑油，例如烷烃中的氢被氟或氟、氯取代而形成的氟碳化合物或氟氯碳化合物，优选地，所述氟油选自全氟烃油、氟氯碳油和全氟醚油中的一种或多种。本发明中，中间层采用氟油在高温下加热时，仍具有优异的化学稳定性。

在本发明中，硅油是指在室温下保持液体状态的线型聚硅氧烷产品，包括甲基硅油和改性硅油两类，优选地，所述硅油选自甲基硅油、苯基硅油和芳基硅油中的一种或多或多种。在本发明中，苯基硅油是指将二甲基有机硅油的一部分甲基利用苯基进行置换后的苯甲基有机硅油。苯甲基有机硅油中苯基含量越多，热稳定性就越优异。在本发明中，芳基硅油是指从简单芳香环衍生出的官能团或取代基取代二甲基有机硅油一部分甲基的产物，也可由苯基硅油衍生而来，本发明中，中间层采用苯基硅油或芳基硅油，能够消除玻璃基板表面静电。

在本发明中，离子液体主要为在常温下呈液态的离子液体，优选地，所述离子液体选自咪唑类化合物、吡咯类化合物、吡啶类化合物、哌啶类化合物和季铵盐离子液体中的一种或多种。具体地，例如，咪唑类化合物可以为四氟硼酸型咪唑、1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸(化学式为[bimm]pf6)或2-甲基咪唑；吡咯类化合物可以为二吡咯甲烷、烷基吡咯或n-甲基吡咯烷酮；吡啶类化合物可以为三氟甲基吡啶、n-丁基吡啶四氟盐或三甲基吡啶；哌啶类化合物可以为2-哌啶甲酸甲酯或1-丙基-1-甲基哌啶双三氟甲磺酰亚胺盐；季铵盐离子液体又称四级铵盐，是铵离子中的四个氢原子都被烃基取代而生成的化合物，通式为r4nx，其中四个烃基r可以相同，也可以不同，负离子x可以为卤素负离子，也可以为酸根负离子，可以为三丁基甲基铵双三氟甲磺酰亚胺盐。对于上述离子液，可以采用本领域技术人员常用的合成方法进行制备得到，也可以商购获得。

在本发明中，优选地，所述液体树脂为液体松香树脂。在本发明中，液体松香树脂是指：以松香为主要原料，选用三甘醇和松香树脂酸进行反应，反应产物为不干性粘稠液体流状物。具体地，本发明具体实施方式中，液体松香树脂组成成分按重量百分比计，例如可以含有：环氧树脂50-70wt％、松香20-30wt％、甘油5-10wt％、富马酸2-8wt％、硅酸钠1-5wt％、十二烷基苯磺酸钠0-6wt％和水5-10wt％。在本发明的一个具体实施方式(实施例5)中，环氧树脂53wt％、松香22wt％、甘油8wt％、富马酸5wt％、硅酸钠2.5wt％、十二烷基苯磺酸钠3.5wt％和水6wt％。

在本发明中，优选地，所述液体硅橡胶为线形聚有机硅氧烷的聚合物。在本发明中，液体硅橡胶是指以线形聚有机硅氧烷为基础聚合物，加入交联剂，补强填料及其他配合剂，经配合、硫化，形成的具有一定粘度的液体。具体地，液体硅橡胶的组成成分按重量百分比计，例如可以含有：乙烯基聚硅氧烷45-65wt％、丙三醇15-25wt％、四甲基四乙烯基环四硅氧烷5-20wt％、四甲基二乙烯基二硅氧烷1.5-15wt％、白炭黑0-10wt％和硅烷偶联剂1-5wt％。在本发明的一个具体实施方式(实施例6)中，乙烯基聚硅氧烷54wt％、丙三醇18wt％、四甲基四乙烯基环四硅氧烷12.2wt％、四甲基二乙烯基二硅氧烷7.2wt％、白炭黑5.6wt％和硅烷偶联剂3wt％。

在本发明中，上述白炭黑的粒径优选小于5μm，更优选小于2μm；通过进一步控制白炭黑的粒径，避免导致中间层厚度不均，影响复合玻璃板的性能。

在本发明中，优选地，所述中间层的耐受温度大于270℃，更优选大于360℃，进一步优选耐受450℃以上的高温，更进一步优选耐受600℃以上的高温。上述耐受温度大于360℃是指中间层在氮气氛围下耐受360℃以上的高温而不发生自身化学变化或化学结合。

在本发明中，为了进一步满足复合玻璃板的加工性能，便于后续的剥离，优选地，在25℃下，所述中间层的粘度为0.1-20000cps，更优选为10-10000cps，进一步优选为100-5000cps，更进一步优选为100-2000cps。

为了进一步减少复合玻璃板内产生气泡，保证复合玻璃板的良率，在本发明中，优选地，所述中间层的含水量小于200ppm；更优选地，所述中间层的含水量小于100ppm。通过控制中间层的含水量，可以避免在贴合过程中气泡的产生，影响贴合效果，进一步保证复合玻璃板的良率。

在本发明中，为了进一步满足复合玻璃板的制程性能要求，优选地，在25-450℃内，所述中间层的可见光透光率大于85％，更优选大于90％。

在本发明中，为了进一步满足复合玻璃板的制程性能要求，优选地，在常温下，所述中间层的折射率为1.2-1.8，更优选为1.3-1.7，进一步优选为1.4-1.6。

在本发明中，优选地，所述中间层的厚度为0.001-100μm，更优选为0.01-50μm。

上述玻璃基板可以为电子显示用平板玻璃或柔性玻璃，例如lcd、oled、等离子显示、量子点显示、microled、电子纸等显示器件用的玻璃基板。

为满足薄玻璃基板的厚度要求，在本发明中，优选地，所述玻璃基板的厚度为0.25mm以下，更优选为0.2mm以下，进一步优选为0.15mm以下。在本发明中，优选地，以所述玻璃基板各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述玻璃基板含有66-73mol％的sio2、11-15mol％的al2o3、0-11mol％的b2o3、1-10mol％的mgo、2-10mol％的cao、0-6mol％的sro、0-10mol％的bao、0-2mol％的zno、0-0.7mol％的re2o3和小于0.05mol％的r2o，其中，re为稀土元素，r为碱金属。

为满足薄玻璃基板的厚度要求，在本发明中，优选地，以所述玻璃基板各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述玻璃基板含有60-74mol％的sio2、8-18mol％的al2o3、1-15mol％的b2o3+p2o5、4-15mol％的na2o、0-10mol％的li2o、0-10mol％的k2o、0.5-10mol％的mgo+tio2、0-4mol％的zno和0-4wt％的y2o3+la2o3+nd2o3。

上述支撑层主要为起到支撑、承载作用的刚性板材，在本发明中，优选地，所述支撑层由选自玻璃、金属、有机高分子材料、碳纤维复合材料和石墨烯复合材料中的一种或多种材料制成。在本发明的具体实施方式中，所述支撑层为玻璃材质。

对于作为上述支撑层的玻璃没有特别的限定，包括但不限于无碱玻璃、有碱玻璃、化学强化玻璃。

在本发明中，优选地，上述玻璃支撑层材料的热膨胀系数与玻璃基板的热膨胀系数相匹配，相对偏差不超过10％，更优选不超过5％。

在本发明中，优选地，所述支撑层为玻璃，以所述支撑层各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述支撑层含有66-73mol％的sio2、11-15mol％的al2o3、0-11mol％的b2o3、1-10mol％的mgo、2-10mol％的cao、0-6mol％的sro、0-10mol％的bao、0-2mol％的zno、0-0.7mol％的re2o3和小于0.05mol％的r2o，其中，re为稀土元素，r为碱金属。

在本发明中，优选地，所述支撑层为玻璃，以所述支撑层各组分的总摩尔数为基准，以氧化物计，所述支撑层含有60-74mol％的sio2、8-18mol％的al2o3、1-15mol％的b2o3+p2o5、4-15mol％的na2o、0-10mol％的li2o、0-10mol％的k2o、0.5-10mol％的mgo+tio2、0-4mol％的zno、0-4wt％的y2o3+la2o3+nd2o3。

在本发明中，优选地，所述支撑层的厚度为0.2-1.1mm，更优选为0.3-0.8mm，进一步优选为0.35-0.7mm。

为了进一步保证复合玻璃板点支撑时下垂量达到了面板制程的要求，在本发明中，优选地，所述支撑层的杨氏模量大于65gpa，更优选大于68gpa，进一步优选大于70gpa。

为了满足实际应用的需求，在本发明中，优选地，所述复合玻璃板的长度、宽度大于300mm，更优选大于1000mm。具体地，支撑层的长度、宽度大于300mm，更优选大于1000mm；玻璃基板的长度、宽度大于300mm，更优选大于1000mm，从而进一步满足g5代线玻璃基板的尺寸要求，适应面板厂家产线，提高生产效率。

为了便于后续复合玻璃板的剥离及回收利用，在本发明中，优选地，所述玻璃基板的长度小于等于支撑层的长度。

为了进一步便于后续复合玻璃板的剥离及回收利用，在本发明中，优选地，所述玻璃基板的长度比支撑层的长度小0.05-20mm；更优选地，所述玻璃基板的长度比支撑层的长度小0.1-10mm；进一步优选地，所述玻璃基板的长度比支撑层的长度小0.2-6mm。通过满足上述要求，可以最大程度地避免玻璃基板的破损，提高良品率。

为了便于后续复合玻璃板的剥离及回收利用，在本发明中，优选地，所述玻璃基板的宽度小于等于支撑层的宽度。

为了进一步便于后续复合玻璃板的剥离及回收利用，在本发明中，优选地，所述玻璃基板的宽度比支撑层的宽度小0.05-20mm；更优选地，所述玻璃基板的宽度比支撑层的宽度小0.1-10mm；进一步优选地，所述玻璃基板的宽度比支撑层的宽度小0.2-6mm。通过满足上述要求，可以最大程度地避免玻璃基板的破损，提高良品率。

第二方面，本发明提供了本发明所述的复合玻璃板的制备方法，该方法包括下述步骤：

1)将所述中间层的组分涂布于支撑层和/或玻璃基板的一个表面；

2)将支撑层与玻璃基板进行贴合。

本发明的制备方法，仅通过将涂有液态中间层组分的支撑层和/或玻璃基板进行贴合，就能够得到满足(薄基板)面板产线要求的复合玻璃板，贴合过程中，不使用氢氟酸等强酸物质，避免了化学减薄带来的高成本、高污染；同样避免了直接真空贴合、耐高温有机硅树脂贴合和无机层贴合等贴合工艺所产生的各类缺陷和不足之处，避免了研发建设新产线而带来的高成本，显著提高生产效率及产品良率，经济效益优异。

上述步骤1)中所述的涂布，具体地，可以将中间层的液态组分仅涂布于玻璃基板的一个表面，然后将涂布面与支撑层贴合；也可以将中间层的液态组分仅涂布于支撑层的一个表面，然后将涂布面与玻璃基板贴合；又或者可以将中间层的液态组分分别涂布于支撑层和玻璃基板的一个表面，然后将二者的涂布面进行贴合，得到复合玻璃基板。

对于步骤1)中的涂布方式没有特别限定，例如可以为狭缝涂布、喷涂、滚涂、线棒刮涂和刮刀刮涂等方式。

步骤1)中的涂布可以在加热条件下进行，具体地，例如可以对支撑层进行加热，或者对玻璃基板进行加热，也可以对中间层的组分进行加热。在本发明的方法中，优选地，所述加热的温度为50-360℃，更优选为70-270℃，进一步优选为80-180℃，更进一步优选为100-150℃。通过加热进一步减少气泡的产生，提高复合玻璃板的良率。

上述步骤2)中所述的贴合，例如可以为在真空或空气氛围下，将支撑层和玻璃基板紧密贴合，具体地，可以从一侧或一角开始贴合，直至整板贴合。在贴合过程中，也可以从支撑层和/或玻璃基板的外侧施加压力，提高贴合效率，促进内部气泡排出。施加压力的介质可以选择胶盘、胶片或胶辊，优选使用胶辊辊压，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量小于等于1个/m²。

依据复合玻璃板的表面平整度，在本发明的方法中，优选地，所述方法还可以包括在贴合后进行均化处理的步骤。该步骤可以根据复合玻璃板的表面平整程度选择性增减。

上述均化处理同样可以在与步骤1)相同的加热条件下进行。

根据需要，可以对上述贴合完毕后的复合玻璃板进行真空排泡，其中，真空度可以为1×10^-4-200pa，优选为0.01-150pa，更优选为1-100pa。

在上述真空排泡的过程中，可以选择加压。具体地，在复合玻璃板两侧施加压力，促进内部气泡排出。对于压力的施加位置，例如可以为全面施加压力，也可以先从中部施加压力，逐渐向两侧移动，以促进内部气泡更快排出。

上述贴合完毕后无需再进行边部研磨抛光处理，也不需要进行物理减薄、化学减薄处理，可经过清洗、检查、包装、运输等工序后，发送至面板厂家投入生产，并对完成面板制程的复合玻璃板进行剥离，对中间层和支撑层进行回用。以tft-lcd为例，具体为：

1、面板制程：将贴合后的复合玻璃板在经array工序和cf工序后，在玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线贴合工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

2、剥离工序：用真空载物台把带有支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的支撑层吸住，从一边或一角开始剥离，直至载板完全剥离。开始剥离时，利用薄刀片在一边或一角划开一条缝隙，避免因起始剥离力度过大而损伤面板。

3、清洗工序：剥离后，组成显示器件的玻璃基板表面残留的中间层液体组分，使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、碱性洗涤液清洗、纯水冲洗等方法进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序，回收中间层液体组分。

4、循环利用：支撑层表面残留的中间层液体组分，使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、碱性洗涤液清洗、纯水冲洗等方法进行清洗。清洗干净后，可再重复利用，再次进行贴合。

上述制备方法可卷对卷生产的柔性超薄玻璃，能够大幅度提高自动化水平。

第三方面，本发明提供了本发明所述的复合玻璃板在制备平板/柔性显示器基板和/或载板中的应用。

以下将通过实施例对本发明进行详细描述。以下实施例中，如无特别说明，所用的各材料均可通过商购获得，如无特别说明，所用的方法为本领域的常规方法。

其中，杨氏模量采用gb/t37780-2019测定，折射率采用阿贝折射仪测试，可见光透过率采用分光光度计测定，中间层的耐受温度采用与大尺寸面板产线(1100mm×1300mm)相同的工艺条件，利用热处理装置进行测定，粘度采用旋转粘度计测定，剥离力采用剥离力测试仪(型号dxl-a，配备100n高精度力学传感器)测定。

实施例1

如图1所示，支撑层1-3为长度为1300mm、宽度为1100mm、厚度为0.5mm的无碱玻璃(以下简称：0.5t玻璃支撑层)，玻璃基板1-1为长度为1295mm、宽度为1095mm、厚度为0.15mm的无碱玻璃(以下简称：0.15t玻璃基板)，中间层1-2为烷基季铵盐离子液体。其中，0.15t玻璃基板与0.5t玻璃支撑层采用相同的玻璃组成，以0.15t玻璃基板的总摩尔量为基准，以氧化物计，该玻璃由67.4mol％的sio2、11.1mol％的al2o3、9.8mol％的b2o3、2.3mol％的mgo、8.8mol％的cao、0.5mol％的sro、0.05mol％的zno和小于0.05mol％的r2o组成，其中，r为碱金属(具体为li、na、k)。

该玻璃的杨氏模量为73gpa、折射率1.52，波长380-780nm可见光透过率91.6％。

将0.5t玻璃支撑层研磨、抛光和清洗后，在其中一个表面利用线棒刮涂的方法均匀地涂布季铵盐离子液体，厚度为5μm。在非真空条件下，从一侧开始贴合0.15t玻璃基板，使用胶辊辊压，排出玻璃板之间的空气，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量为0个/m²。

贴合完毕后，进行加压真空排泡工序，真空度为10pa，从中部施加压力，逐渐向两侧移动，促进内部气泡更快排出。

0.15t玻璃基板的长度与宽度均比0.5t玻璃支撑层小5mm。体现在边缘的形态上，0.15t玻璃基板要比0.5t玻璃支撑层小2.5mm，这样0.5t玻璃支撑层可以保护0.15t玻璃基板，最大程度地避免0.15t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

tft-lcd面板制程：在经array工序和cf工序后，玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有0.5t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.5t玻璃支撑层吸住，从一边开始剥离，直至0.5t玻璃支撑层完全剥离。开始剥离时，可借助特制薄刀片在一边划开一条缝隙，有助于定向剥离。在剥离速率为20mm/min时，测得剥离力大小为12n/m。

清洗工序：剥离后，对组成显示器件的0.15t玻璃基板表面残留的季铵盐离子液体，利用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、纯水冲洗等方法的组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗和纯水冲洗，清洗0.5t玻璃支撑层表面残留的季铵盐离子液体。清洗干净后，可重复利用，再次进行贴合。0.5t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集季铵盐离子液体，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

实施例2

如图2所示，支撑层2-3为长度为1300mm、宽度为1100mm、厚度为0.6mm的无碱玻璃(以下简称：0.6t玻璃支撑层)，玻璃基板2-1为长度为1294mm、宽度为1094mm、厚度为0.2mm的无碱玻璃(以下简称：0.2t玻璃基板)，中间层2-2为三氟丙基甲基硅油。其中，0.2t玻璃基板与0.6t玻璃支撑层采用相同的玻璃组成，以0.2t玻璃基板的总摩尔量为基准，以氧化物计，该玻璃由67.5mol％的sio2、13.2mol％的al2o3、9.5mol％的b2o3、1.6mol％的mgo、3.4mol％的cao、2.6mol％的sro、1.2mol％的bao、0.9mol％的zno和小于0.05mol％的r2o组成，其中，r为碱金属(具体为li、na、k)。

该玻璃的杨氏模量为78gpa、折射率1.52，波长380-780nm可见光透过率91.8％。

将0.6t玻璃支撑层边部研磨、边部抛光和全面清洗后，在其中一个表面利用刮刀涂布的方法均匀地涂布硅油，厚度为5μm。在真空腔体里，从一侧开始贴合0.2t玻璃基板，外表面使用胶片压合，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量为0个/m²。

在涂布硅油之前，增加过滤装置，滤除硅油内部的杂质。在涂布硅油的过程中，加热0.6t玻璃支撑层与硅油，加热温度105℃。贴合完毕后，进行真空排泡，真空度为1pa。

0.2t玻璃基板的长度与宽度均比0.6t玻璃支撑层小6mm，体现在边缘的形态上，0.2t玻璃基板要比0.6t玻璃支撑层小3mm，这样0.6t玻璃支撑层可以保护0.2t玻璃基板，最大程度地避免0.2t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

oled面板制程：贴合后的复合玻璃板，在玻璃基板表面形成有机el器件，经过各工序处理后完成封装，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有两层0.6t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.6t玻璃支撑层吸住，从一角开始剥离，直至载板完全剥离。开始剥离时，借助特制薄刀片在一角划开一条缝隙，有助于定向剥离，避免因剥离力度过大而损伤面板。剥离力大小为10n/m。

清洗工序：剥离后，对组成显示器件的0.2t玻璃基板表面残留的硅油，利用风刀、超声波清洗、碱性洗涤液清洗、纯水冲洗等方法组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：0.6t玻璃支撑层表面残留的硅油，使用风刀、超声波清洗、碱性洗涤液清洗和纯水冲洗进行清洗。清洗干净后，可以重复利用，再次进行贴合。0.6t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集硅油，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

实施例3

按照实施例1的方法进行，不同的是，将季铵盐离子液体替换成氟油。

将0.5t玻璃支撑层研磨、抛光和清洗后，在其中一个表面利用多头点胶机均匀地若干条涂布氟油。在非真空条件下，从一侧开始、沿着点胶机涂布的方向贴合0.15t玻璃基板，使用胶辊辊压，排出玻璃板之间的空气，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量小于2个/m²。

贴合完毕后，进行加压真空排泡工序，真空度为10pa，从中部施加压力，逐渐向两侧移动，促进内部气泡更快排出。

0.15t玻璃基板的长度与宽度均比0.5t玻璃支撑层小6mm。体现在边缘的形态上，0.15t玻璃基板要比0.5t玻璃支撑层小3mm，这样0.5t玻璃支撑层可以保护0.15t玻璃基板，最大程度地避免0.15t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

tft-lcd面板制程：在经array工序和cf工序后，玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有0.5t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.5t玻璃支撑层吸住，从一边开始剥离，直至0.5t玻璃支撑层完全剥离。开始剥离时，可借助特制薄刀片在一边划开一条缝隙，有助于定向剥离。在剥离速率为20mm/min时，剥离力大小为15n/m。

清洗工序：剥离后，对于组成显示器件的0.15t玻璃基板表面残留的氟油，利用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、纯水冲洗等方法的组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗和纯水冲洗，清洗0.5t玻璃支撑层表面残留的氟油。清洗干净后，可重复利用，再次进行贴合。0.5t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集氟油，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

实施例4

按照实施例1的方法进行，不同的是，将季铵盐离子液体替换为苯基硅油。

将0.5t玻璃支撑层研磨、抛光和清洗后，在其中一个表面利用狭缝涂布的方法均匀地涂布苯基硅油，厚度为5μm。在非真空条件下，从一侧开始贴合0.2t玻璃基板，使用胶辊辊压，排出玻璃板之间的空气，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量小于2个/m²。

0.2t玻璃基板的长度与宽度均比0.5t玻璃支撑层小8mm。体现在边缘的形态上，0.2t玻璃基板要比0.5t玻璃支撑层小4mm，这样0.5t玻璃支撑层可以保护0.2t玻璃基板，最大程度地避免0.2t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

tft-lcd面板制程：在经array工序和cf工序后，玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有0.5t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.5t玻璃支撑层吸住，从一边开始剥离，直至0.5t玻璃支撑层完全剥离。开始剥离时，可借助特制薄刀片在一边划开一条缝隙，有助于定向剥离。在剥离速率为20mm/min时，剥离力大小为18n/m。

清洗工序：剥离后，对组成显示器件的0.2t玻璃基板表面残留的苯基硅油，使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、纯水冲洗等方法的组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗和纯水冲洗，清洗0.5t玻璃支撑层表面残留的苯基硅油。清洗干净后，可重复利用，再次进行贴合。0.5t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集苯基硅油，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

实施例5

按照实施例1的方法进行，不同的是，将季铵盐离子液体替换为液体松香树脂。

将0.4t玻璃支撑层研磨、抛光和清洗后，在其中一个表面利用刮刀刮涂的方法均匀地涂布液体松香树脂，厚度为8μm。在非真空条件下，从一侧开始贴合0.1t玻璃基板，使用胶辊辊压，排出玻璃板之间的空气，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量小于2个/m²。

0.1t玻璃基板的长度与宽度均比0.4t玻璃支撑层小8mm。体现在边缘的形态上，0.1t玻璃基板要比0.4t玻璃支撑层小4mm，这样0.4t玻璃支撑层可以保护0.1t玻璃基板，最大程度地避免0.1t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

tft-lcd面板制程：在经array工序和cf工序后，玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有0.4t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.4t玻璃支撑层吸住，从一边开始剥离，直至0.4t玻璃支撑层完全剥离。开始剥离时，可借助特制薄刀片在一边划开一条缝隙，有助于定向剥离。在剥离速率为20mm/min时，剥离力大小为20n/m。

清洗工序：剥离后，组成显示器件的0.1t玻璃基板表面残留的液体松香树脂，利用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、纯水冲洗等方法的组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗和纯水冲洗，清洗0.4t玻璃支撑层表面残留的液体松香树脂。清洗干净后，可重复利用，再次进行贴合。0.4t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集液体松香树脂，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

实施例6

按照实施例1的方法进行，不同的是，将季铵盐离子液体替换为液体硅橡胶。

将0.5t玻璃支撑层研磨、抛光和清洗后，在其中一个表面利用辊涂机均匀地涂布液体硅橡胶，厚度为12μm。在非真空条件下，从一侧开始贴合0.2t玻璃基板，使用胶辊辊压，排出玻璃板之间的空气，使得复合玻璃板内部直径大于0.02mm的气泡数量小于2个/m²。

贴合完毕后，进行加压真空排泡工序，真空度为5pa，从中部施加压力，逐渐向两侧移动，促进内部气泡更快排出。

0.2t玻璃基板的长度与宽度均比0.5t玻璃支撑层小5mm。体现在边缘的形态上，0.2t玻璃基板要比0.5t玻璃支撑层小2.5mm，这样0.5t玻璃支撑层可以保护0.2t玻璃基板，最大程度地避免0.2t薄玻璃的破损，提高良品率。中间层的各性能如表1所示。

tft-lcd面板制程：在经array工序和cf工序后，玻璃基板表面形成各功能性元器件，再进行lcd在线工序，完成成盒制程，之后进入剥离工序。

剥离工序：用于真空载物台把带有0.5t玻璃支撑层的显示器件固定，用真空吸盘把上层需要剥离的0.5t玻璃支撑层吸住，从一边开始剥离，直至0.5t玻璃支撑层完全剥离。开始剥离时，可借助特制薄刀片在一边划开一条缝隙，有助于定向剥离。在剥离速率为20mm/min时，剥离力大小为30n/m。

清洗工序：剥离后，组成显示器件的0.2t玻璃基板表面残留的液体硅橡胶，利用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗、纯水冲洗等方法的组合进行清洗。清洗干净后，玻璃基板制成的功能器件进入下一道工序。

循环利用：使用风刀、超声波清洗、有机溶剂清洗和纯水冲洗，清洗0.5t玻璃支撑层表面残留的液体硅橡胶。清洗干净后，可重复利用，再次进行贴合。0.5t玻璃支撑层的重复利用可以降低生产成本，节能降耗、保护环境。

回收利用：收集液体硅橡胶，经过净化、提纯后可以再次使用，进一步降低成本，节约资源，保护环境。

表1

以上结合附图详细描述了本发明实施例的可选实施方式，但是，本发明实施例并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明实施例的技术构思范围内，可以对本发明实施例的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明实施例的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明实施例对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明实施例的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明实施例的思想，其同样应当视为本发明实施例所公开的内容。

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