一种硅片镀膜专用治具的制作方法

本实用新型涉及一种硅片镀膜专用治具，属于硅片镀膜技术领域。

背景技术：

现有技术中，晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括：清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试，其中，沉积减反射膜是晶体硅太阳能电池生产过程中的一个重要工序，目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率，现有技术中，制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积（pecvd）方法，目前没有能够对硅片镀膜时进行稳定夹持的治具，为此，提供一种硅片镀膜专用治具。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种硅片镀膜专用治具，可以有效解决背景技术中的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种硅片镀膜专用治具，包括底板，所述底板上挖设有圆形通孔，所述圆形通孔内壁上固定连接有定位环，所述定位环内壁上设有衔接槽，所述底板顶侧对称设有连接孔，且所述底板顶侧等距设有螺纹孔，所述底板通过螺纹孔螺纹连接有螺丝，所述螺丝外侧套接有圆环，所述圆环右侧固定连接有曲型片，所述曲型片右端固定连接有定位块，所述定位环顶侧贴合有钢网板。

作为上述方案的进一步描述，所述连接孔与螺纹孔分别贯穿底板底侧，且所述螺纹孔环形等距设置于圆形通孔外侧。

作为上述方案的进一步描述，所述定位环的厚度小于圆形通孔的深度，且所述定位环设置于圆形通孔内壁的中部。

作为上述方案的进一步描述，所述底板左右两侧分别对称设置有垫片，所述垫片底侧均设有防护垫层。

作为上述方案的进一步描述，所述定位块包括立柱、压片，所述立柱底部右侧与压片固定连接，所述压片底侧设有防滑纹理。

作为上述方案的进一步描述，所述钢网板为圆形结构，所述钢网板与圆形通孔内壁活动连接。

本实用新型有益效果：

1、通过设置衔接槽，在硅片嵌设于定位环内时，硅片的外壁正好与衔接槽的内腔进行卡合，能够有效的对硅片进行定位固定；

2、通过设置钢网板，钢网板可以对硅片进行支撑，增加了硅片镀膜过程中的受力面积，与硅片紧密贴合，防止镀膜过程中溢镀情况的发生；

3、通过设置立柱与压片，使压片抵接于钢网板底侧，从而能够对钢网板进行支撑，防止钢网板在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生，大大提高了镀膜过程中的稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种硅片镀膜专用治具的剖面结构侧视图。

图2是本实用新型一种硅片镀膜专用治具的底板俯视图。

图3是本实用新型一种硅片镀膜专用治具的螺丝外观结构侧视图。

图中标号：1、底板；2、圆形通孔；3、定位环；4、衔接槽；5、连接孔；6、螺纹孔；7、螺丝；8、圆环；9、曲型片；10、定位块；11、钢网板；12、垫片；13、立柱；14、压片。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片镀膜专用治具，包括底板1，所述底板1上挖设有圆形通孔2，所述圆形通孔2内壁上固定连接有定位环3，所述定位环3的厚度小于圆形通孔2的深度，且所述定位环3设置于圆形通孔2内壁的中部，所述定位环3内壁上设有衔接槽4，通过设置衔接槽4，在硅片嵌设于定位环3内时，硅片的外壁正好与衔接槽4的内腔进行卡合，能够有效的对硅片进行定位固定，所述底板1顶侧对称设有连接孔5，且所述底板1顶侧等距设有螺纹孔6，所述连接孔5与螺纹孔6分别贯穿底板1底侧，且所述螺纹孔6环形等距设置于圆形通孔2外侧，所述底板1通过螺纹孔6螺纹连接有螺丝7，所述螺丝7外侧套接有圆环8，所述圆环8右侧固定连接有曲型片9，通过设置圆环8与曲型片9，在将螺丝7连接在螺纹孔6内时，使圆环8带动曲型片9进行旋转，在曲型片9转动到钢网板11底侧表面时，拧紧螺丝7使曲型片9的位置进行固定，从而能够有效的使定位块10对钢网板11底侧进行支撑，所述曲型片9右端固定连接有定位块10，所述定位环3顶侧贴合有钢网板11，所述钢网板11为圆形结构，所述钢网板11与圆形通孔2内壁活动连接，通过设置钢网板11，能够将钢网板11贴附在定位环3底侧，将硅片放置与定位环3内，钢网板11可以对硅片进行支撑，增加了硅片镀膜过程中的受力面积，与硅片紧密贴合，防止镀膜过程中溢镀情况的发生。

具体的，如图2所示，所述底板1左右两侧分别对称设置有垫片12，所述垫片12底侧均设有防护垫层。

具体的，如图3所示，所述定位块10包括立柱13、压片14，所述立柱13底部右侧与压片14固定连接，所述压片14底侧设有防滑纹理，通过设置立柱13与压片14，在手动握住立柱13时，可以操控立柱13带动曲型片9进行移动，使压片14抵接于钢网板11底侧，从而能够对钢网板11进行支撑，防止钢网板11在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生，大大提高了镀膜过程中的稳定性。

本实用新型在使用时，将钢网板11贴附在定位环3底侧，将硅片放置与定位环3内，钢网板11可以对硅片进行支撑，与硅片紧密贴合，在将螺丝7连接在螺纹孔6内时，使圆环8带动曲型片9进行旋转，在手动握住立柱13时，可以操控立柱13带动曲型片9进行移动，在曲型片9转动到钢网板11底侧表面时，拧紧螺丝7使曲型片9的位置进行固定，与硅片紧密贴合。

以上为本实用新型较佳的实施方式，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。

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