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分子束外延系统及分子束外延表面的温度控制方法与流程
2021-01-31本发明涉及薄膜材料外延技术领域，尤其涉及一种分子束外延系统及分子束外延表面的温度控制方法。背景技术：在实现分子束外延碲镉汞材料的外延过程中，外延表面温度的变化对晶体质量会产生很
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