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[0001]本实用新型涉及磁偏转电子束蒸发源,特别涉及一种高材料利用率的磁偏转电子束蒸发源。背景技术:[0002]磁偏转电子束发源是基于耦合磁场和电场来偏转电子束到一定角度进而
[0001]本实用新型涉及电子束蒸发台技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构。背景技术:[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直
[0001]本实用新型涉及电子束蒸发法技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发台加热器装置。背景技术:[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直接加热
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